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        08月12日 2019

        虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐設(shè)備改造中的應(yīng)用

        發(fā)布者:虹潤集團(tuán)

        一、摘要

               虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進(jìn)行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng),它可根據(jù)生產(chǎn)過程的要求,按照一定的曲線進(jìn)行控制,最多可分59段曲線對(duì)象進(jìn)行編程控制,每一段均采用PID參數(shù)設(shè)定控制,使控制更為精確可靠,方便靈活的曲線控制功能,可實(shí)時(shí)監(jiān)控曲線程序段的運(yùn)行時(shí)間和狀態(tài),多種事件輸入功能。通過多種曲線控制輸出功能,可實(shí)現(xiàn)曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進(jìn)等功能,并可實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)無擾動(dòng)切換。

        二、產(chǎn)品的市場背景

               單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑、溫度(功率)、原料(硅料)、泄漏率和氬氣質(zhì)量等,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤自主開發(fā)的虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用。

        三、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理

               1、軟件采用人工智能控制算法,通過上電自動(dòng)跟蹤測量值變化,根據(jù)時(shí)間和所設(shè)定控制值的函數(shù)關(guān)系分段實(shí)現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié)

               2、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線,可實(shí)現(xiàn)曲線的步進(jìn)、跳轉(zhuǎn)、停止、清零等功能

               3、產(chǎn)品在整個(gè)單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負(fù)責(zé)溫度的精準(zhǔn)控制。

        四、產(chǎn)品的應(yīng)用

               虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見下圖:

        1565251270128127.gif

               電路說明:交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用,輸出電壓25V,輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊,內(nèi)含晶閘管和移相控制電路,輸出最大電壓450V,最大電流75A,L1為過流保護(hù)熔斷器,RSV為過壓保護(hù)阻容元件。RW為電爐絲。

               NHR-5400輸出為0-10MA電流,經(jīng)過1K電阻后,輸出變?yōu)?-10V直流電壓,滿足晶閘管模塊的輸入電壓要求。

               主要控制設(shè)備:虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器

        2.gif

               輔助設(shè)備:熱電偶、可控硅、固態(tài)繼電器、過壓保護(hù)阻容器件等

               根據(jù)單晶爐溫度控制的特點(diǎn),虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器設(shè)定工藝曲線如下:

        攝氏度   分鐘  

        SV01=25.0

        SV02=255.0

        SV03=255.0

        SV04=455.0

        SV05=455.0

        SV06=825.0

        SV07=825.0

        SV08=825.0

        SV09=825.0

        SV10=825.0

        SV11=825.0

        SV12=355.0

        SV13=25.0

        從室溫25.0℃開始升溫

        升到255.0℃

        保溫在255℃

        升到455.0℃

        保溫在455.0℃

        上升到825.0℃

        保溫在825.0℃

        保溫在825.0℃

        保溫在825.0℃

        保溫在825.0℃

        保溫在825.0℃

        下降到355.0℃

        下降到25.0℃

        TI01=60

        TI01=120

        TI03=120

        TI04=90

        TI05=300

        TI06=8640

        TI07=8640

        TI08=8640

        TI09=8640

        TI10=4320

        TI01=360

        TI12=600

        TI13=-121

        經(jīng)過60分鐘

        經(jīng)過120分鐘

        經(jīng)過120分鐘

        經(jīng)過90分鐘

        經(jīng)過300分鐘

        經(jīng)過8640分鐘

        經(jīng)過8640分鐘

        經(jīng)過8640分鐘

        經(jīng)過8640分鐘

        經(jīng)過4320分鐘

        經(jīng)過360分鐘

        經(jīng)過600分鐘

        停止

        按照上述的設(shè)定參數(shù)試驗(yàn)控制效果極佳,控制精度可達(dá)±0.5°C

        產(chǎn)品圖片:

        3.gif

        五、結(jié)束語

               采用虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統(tǒng)以來,碲鎘汞單晶爐的控制運(yùn)行狀況良好,至今仍無故障出現(xiàn),完全可以替代進(jìn)口的控制儀表。無論從運(yùn)行實(shí)際狀況來看,還是從性價(jià)比來看,選擇NHR-5400確實(shí)能夠完全滿足要求。

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